TUTCRIS - Tampereen teknillinen yliopisto

TUTCRIS

Temperature mapping in thermal RF plasma CVD using laser Rayleigh scattering

Aktiviteetti: Konferenssiesitelmä

Yksityiskohdat

Rolf Gustaf Runarsson Hernberg - Speaker

1997

Tapahtuma (null)

Teoksen nimiProceedings of Optics Day 97, February 21, 1997, Physics Series Report, Tampere, Finland
Ajanjakso1/01/97 → …

Country of activity

Publication forum classification

ID: 12637470