TUTCRIS - Tampereen teknillinen yliopisto

TUTCRIS

An etching mask and a method to produce an etching mask

Tutkimustuotos: Patentti

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
PatenttinumeroWO 2016/177888 Al
TilaJulkaistu - 11 lokakuuta 2016
OKM-julkaisutyyppiH1 Myönnetty patentti