An etching mask and a method to produce an etching mask
Tutkimustuotos: Patentti ›
Yksityiskohdat
Alkuperäiskieli | Englanti |
---|---|
Patenttinumero | WO 2016/177888 Al |
Tila | Julkaistu - 11 lokakuuta 2016 |
OKM-julkaisutyyppi | H1 Myönnetty patentti |
Tutkimustuotos: Patentti ›
Alkuperäiskieli | Englanti |
---|---|
Patenttinumero | WO 2016/177888 Al |
Tila | Julkaistu - 11 lokakuuta 2016 |
OKM-julkaisutyyppi | H1 Myönnetty patentti |