An etching mask and a method to produce an etching mask
Tutkimustuotos: Patentti ›
Yksityiskohdat
| Alkuperäiskieli | Englanti |
|---|---|
| Patenttinumero | WO 2016/177888 Al |
| Tila | Julkaistu - 11 lokakuuta 2016 |
| OKM-julkaisutyyppi | H1 Myönnetty patentti |
Tutkimustuotos: Patentti ›
| Alkuperäiskieli | Englanti |
|---|---|
| Patenttinumero | WO 2016/177888 Al |
| Tila | Julkaistu - 11 lokakuuta 2016 |
| OKM-julkaisutyyppi | H1 Myönnetty patentti |