Approximating circles by polygons in anisotropic etching of {100} silicon
Tutkimustuotos › › vertaisarvioitu
Yksityiskohdat
| Alkuperäiskieli | Englanti |
|---|---|
| Otsikko | Proceedings of Eurosensors XIII |
| Sivut | 531-532 |
| Tila | Julkaistu - 1999 |
| Julkaistu ulkoisesti | Kyllä |
| OKM-julkaisutyyppi | A4 Artikkeli konferenssijulkaisussa |