TUTCRIS - Tampereen teknillinen yliopisto

TUTCRIS

Approximating circles by polygons in anisotropic etching of {100} silicon

Tutkimustuotosvertaisarvioitu

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
OtsikkoProceedings of Eurosensors XIII
Sivut531-532
TilaJulkaistu - 1999
Julkaistu ulkoisestiKyllä
OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisussa