TUTCRIS - Tampereen teknillinen yliopisto

TUTCRIS

Calibration improvement for piezoresistive coefficients of stress sensors on (100) silicon

Tutkimustuotosvertaisarvioitu

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut205-208
JulkaisuPhysica Scripta
VuosikertaT114
TilaJulkaistu - 2004
OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli

Julkaisufoorumi-taso