TUTCRIS - Tampereen teknillinen yliopisto

TUTCRIS

Characteristics of two types of mems resonator structures in SOI applications

Tutkimustuotos

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
Otsikko203rd Meeting of The Electrochemical Society, Le Palais des Congrès, Paris, France, April 27 - May 2, 2003
Sivut267-272
TilaJulkaistu - 2003
OKM-julkaisutyyppiB3 Artikkeli konferenssijulkaisussa

Julkaisufoorumi-taso