TUTCRIS - Tampereen teknillinen yliopisto

TUTCRIS

Composition of rf-sputtered alumina coatings determined by XPS method

Tutkimustuotos

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
JulkaisupaikkaOtaniemi
KustantajaHelsinki University of Technology, Department of Technical Physics
TilaJulkaistu - 1982
OKM-julkaisutyyppiD4 Julkaistu kehittämis- tai tutkimusraportti taikka -selvitys

Julkaisusarja

NimiProc. of the XVI Annual Conference of the Finnish Physical Society, report
KustantajaHelsinki University of Technology, Department of Technical Physics
Numero466

Julkaisufoorumi-taso