TUTCRIS - Tampereen teknillinen yliopisto

TUTCRIS

Effects of intermediate zinc pulses on properties of TiN and NbN films deposited by atomic layer epitaxy

Tutkimustuotosvertaisarvioitu

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut199-212
JulkaisuApplied Surface Science
Vuosikerta120
TilaJulkaistu - 1997
OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli

Julkaisufoorumi-taso