Effects of intermediate zinc pulses on properties of TiN and NbN films deposited by atomic layer epitaxy
Tutkimustuotos › › vertaisarvioitu
Yksityiskohdat
| Alkuperäiskieli | Englanti |
|---|---|
| Sivut | 199-212 |
| Julkaisu | Applied Surface Science |
| Vuosikerta | 120 |
| Tila | Julkaistu - 1997 |
| OKM-julkaisutyyppi | A1 Alkuperäisartikkeli |