Effects of intermediate zinc pulses on properties of TiN and NbN films deposited by atomic layer epitaxy
Tutkimustuotos › › vertaisarvioitu
Yksityiskohdat
Alkuperäiskieli | Englanti |
---|---|
Sivut | 199-212 |
Julkaisu | Applied Surface Science |
Vuosikerta | 120 |
Tila | Julkaistu - 1997 |
OKM-julkaisutyyppi | A1 Alkuperäisartikkeli |