TUTCRIS - Tampereen teknillinen yliopisto

TUTCRIS

Evaluation of principal characteristics of circular resonator in thin film applications

Tutkimustuotosvertaisarvioitu

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
OtsikkoDTIP2003. Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS 2003, 5-7 May 2003, Cannes, France
ToimittajatK. Bergman
Sivut204-207
TilaJulkaistu - 2003
OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisussa

Julkaisufoorumi-taso