TUTCRIS - Tampereen teknillinen yliopisto

TUTCRIS

Formation of 4-beam laser interference patterns for nanolithography

Tutkimustuotosvertaisarvioitu

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
OtsikkoPhotonic Materials, Devices, and Applications II, 2.5.2007, Gran Canaria, Spain. Proceedings of the SPIE
ToimittajatA. Serpengüzel
Sivut8 p
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - 2007
Julkaistu ulkoisestiKyllä
OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisussa

Julkaisufoorumi-taso