TUTCRIS - Tampereen teknillinen yliopisto

TUTCRIS

Inkjet Printing, Laser Based Micromachining and Micro 3D Printing Technologies for MEMS

Tutkimustuotosvertaisarvioitu

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
OtsikkoHandbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies
KustantajaElsevier
Sivut550-564
Sivumäärä15
Painos2
ISBN (painettu)978-0-323-29965-7
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - 2015
OKM-julkaisutyyppiA3 Kirjan tai muun kokoomateoksen osa

Julkaisusarja

NimiMicro and Nano Technologies