Method for manufacturing thin film, and thin film
Tutkimustuotos: Patentti ›
Yksityiskohdat
| Alkuperäiskieli | Englanti |
|---|---|
| Patenttinumero | US6875642 B2 |
| IPC | B05D5/00, B05D1/18, B05D7/00 |
| Prioriteetti päiväys | 23/11/01 |
| Tila | Julkaistu - 5 huhtikuuta 2005 |
| Julkaistu ulkoisesti | Kyllä |
| OKM-julkaisutyyppi | H1 Myönnetty patentti |