TUTCRIS - Tampereen teknillinen yliopisto

TUTCRIS

Method for manufacturing thin film, and thin film

Tutkimustuotos: Patentti

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
PatenttinumeroUS6875642 B2
IPCB05D5/00, B05D1/18, B05D7/00
Prioriteetti päiväys23/11/01
TilaJulkaistu - 5 huhtikuuta 2005
Julkaistu ulkoisestiKyllä
OKM-julkaisutyyppiH1 Myönnetty patentti