TUTCRIS - Tampereen teknillinen yliopisto

TUTCRIS

Method for measuring the active KOH concentration in a KOH etching process

Tutkimustuotos: Patentti

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
PatenttinumeroUS8628678 B2
IPCG01N21/42, C03C25/68, C03C15/00
Prioriteetti päiväys11/10/06
TilaJulkaistu - 14 tammikuuta 2014
Julkaistu ulkoisestiKyllä
OKM-julkaisutyyppiH1 Myönnetty patentti