TUTCRIS - Tampereen teknillinen yliopisto

TUTCRIS

Multi-beam laser interference lithography pattern

Tutkimustuotosvertaisarvioitu

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliKiina
Sivut3157-3162
JulkaisuHigh Power Laser and Particle Beams
Vuosikerta23
Numero12
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - 2011
OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli

Julkaisufoorumi-taso

Tilastokeskuksen tieteenalat