Nanofabrication by direct writing with four-beam laser interference and nanoimprint lithography
Tutkimustuotos ›
Yksityiskohdat
| Alkuperäiskieli | Englanti |
|---|---|
| Kustantaja | Tampere University of Technology |
| ISBN (painettu) | 978-952-15-3861-2 |
| Tila | Julkaistu - 2 joulukuuta 2016 |
| OKM-julkaisutyyppi | G5 Artikkeliväitöskirja |
Julkaisusarja
| Nimi | Tampere University of Technology. Publication |
|---|---|
| Vuosikerta | 1442 |
| ISSN (painettu) | 1459-2045 |