Nanofabrication by direct writing with four-beam laser interference and nanoimprint lithography
Tutkimustuotos ›
Yksityiskohdat
Alkuperäiskieli | Englanti |
---|---|
Kustantaja | Tampere University of Technology |
ISBN (painettu) | 978-952-15-3861-2 |
Tila | Julkaistu - 2 joulukuuta 2016 |
OKM-julkaisutyyppi | G5 Artikkeliväitöskirja |
Julkaisusarja
Nimi | Tampere University of Technology. Publication |
---|---|
Vuosikerta | 1442 |
ISSN (painettu) | 1459-2045 |