TUTCRIS - Tampereen teknillinen yliopisto

TUTCRIS

Nanofabrication by direct writing with four-beam laser interference and nanoimprint lithography

Tutkimustuotos

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
KustantajaTampere University of Technology
ISBN (painettu)978-952-15-3861-2
TilaJulkaistu - 2 joulukuuta 2016
OKM-julkaisutyyppiG5 Artikkeliväitöskirja

Julkaisusarja

NimiTampere University of Technology. Publication
Vuosikerta1442
ISSN (painettu)1459-2045

Tilastokeskuksen tieteenalat