Scanner path as a manipulatable variable for optimal control and diagnostics of CD variations
Tutkimustuotos ›
Yksityiskohdat
| Alkuperäiskieli | Englanti |
|---|---|
| Otsikko | 2008 Control Systems Pan-Pacific Conference. Conference Proceedings, June 16-18, Vancouver, Canada, 2008 |
| Sivut | 81-85 |
| ISBN (elektroninen) | 978-1-897023-40-2 |
| Tila | Julkaistu - 2008 |
| OKM-julkaisutyyppi | B3 Artikkeli konferenssijulkaisussa |