TUTCRIS - Tampereen teknillinen yliopisto

TUTCRIS

Scanner path as a manipulatable variable for optimal control and diagnostics of CD variations

Tutkimustuotos

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
Otsikko2008 Control Systems Pan-Pacific Conference. Conference Proceedings, June 16-18, Vancouver, Canada, 2008
Sivut81-85
ISBN (elektroninen)978-1-897023-40-2
TilaJulkaistu - 2008
OKM-julkaisutyyppiB3 Artikkeli konferenssijulkaisussa

Julkaisufoorumi-taso