TUTCRIS - Tampereen teknillinen yliopisto

TUTCRIS

Self-sustained secondary discharge in inductively coupled plasma reactor

Tutkimustuotosvertaisarvioitu

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut2508-2510
JulkaisuApplied Physics Letters
Vuosikerta76
Numero18
TilaJulkaistu - 2000
OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli

Julkaisufoorumi-taso