TUTCRIS - Tampereen teknillinen yliopisto

TUTCRIS

SiGe/Si heterostructures produced by double-energy Si+ and Ge+, and Ge+ and Ge2+ ion implantations

Tutkimustuotosvertaisarvioitu

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut2629-2632
JulkaisuJournal of Vacuum Science & Technology B, Microelectronics and Nanometer Structures, Processing, Measurement, and Phenomena
Vuosikerta16
Numero5
TilaJulkaistu - 1998
OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli

Julkaisufoorumi-taso