TUTCRIS - Tampereen teknillinen yliopisto

TUTCRIS

SiGe/Si Heterostructures Produced by Double-Energy Si+ and Ge+, and Ge+ and Ge2+ Ion Implantations

Tutkimustuotos

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
OtsikkoAmerican Vacuum Society, 44th National Symposium, October 20-24, 1997, San Jose Convention Center, San Jose, California, USA
TilaJulkaistu - 1997
OKM-julkaisutyyppiB3 Artikkeli konferenssijulkaisussa

Julkaisufoorumi-taso