SiGe/Si Heterostructures Produced by Double-Energy Si+ and Ge+, and Ge+ and Ge2+ Ion Implantations
Tutkimustuotos ›
Yksityiskohdat
| Alkuperäiskieli | Englanti |
|---|---|
| Otsikko | American Vacuum Society, 44th National Symposium, October 20-24, 1997, San Jose Convention Center, San Jose, California, USA |
| Tila | Julkaistu - 1997 |
| OKM-julkaisutyyppi | B3 Artikkeli konferenssijulkaisussa |